型號(hào)

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE（DP模式選購(gòu)）

高頻輸功率

600W

2000W

反應(yīng)臺(tái)尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應(yīng)氣體

2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)